1 简介

真(zhen)空(kong)泵是(shi)一种旋转式变容真(zhen)空(kong)泵须有(you)(you)前级(ji)泵配合方(fang)可使用在较(jiao)宽的压力范(fan)围(wei)内有(you)(you)较(jiao)大的抽速对被(bei)抽除气体中含有(you)(you)灰尘和水蒸汽(qi)不敏(min)感广泛用于冶金(jin)、化工(gong)、食(shi)品、电子镀膜等行(xing)业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围(wei)内有较大的抽(chou)速；

(2)转(zhuan)(zhuan)子(zi)具有(you)良好的(de)几何对(dui)称性，故振动(dong)小，运转(zhuan)(zhuan)平稳。转(zhuan)(zhuan)子(zi)间及转(zhuan)(zhuan)子(zi)和壳体间均有(you)间隙，不用润滑，摩擦损失小，可(ke)大大降低驱动(dong)功(gong)率，从而可(ke)实现(xian)较高转(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用(yong)油(you)密(mi)封(feng)和润(run)滑，可减(jian)少油(you)蒸气对真空系统的污染(ran)；

(4)泵腔内无(wu)压(ya)缩，无(wu)排气(qi)阀。结构简单、紧凑，对被抽气(qi)体(ti)中的灰尘和水(shui)蒸汽不敏感；

(5)压缩比较(jiao)低(di)，对(dui)氢气(qi)抽气(qi)效果差；

(6)转子表面为形状较为复(fu)杂的曲线柱面，加(jia)工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体(ti)结(jie)构型式

真(zhen)空(kong)泵的泵体的布置结构决定了(le)泵的总(zong)体结构。

立(li)式结(jie)构的进、排气口(kou)水平设(she)置(zhi)，装配和连接管路都(dou)比较方便(bian)。但泵(beng)的重心(xin)较高，在(zai)高速运转时稳定(ding)性差(cha)，故这种型(xing)式多用于小泵(beng)。

卧式泵的进气(qi)(qi)口(kou)(kou)(kou)在上，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)(kou)在下(xia)。有(you)时(shi)为了真空系(xi)统管(guan)道(dao)安装(zhuang)连接方(fang)便，可将排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)(kou)从(cong)水平方(fang)向接出，即进、排(pai)气(qi)(qi)方(fang)向是(shi)相互垂(chui)直的。此时(shi)，排(pai)气(qi)(qi)口(kou)(kou)(kou)可以从(cong)左或右两个方(fang)向开口(kou)(kou)(kou)，除接排(pai)气(qi)(qi)管(guan)道(dao)一端外，另一端堵死或接旁通阀(fa)。这种(zhong)(zhong)泵结(jie)构重心(xin)低，高速运(yun)转时(shi)稳定性好(hao)。一般大、中型泵多采用此种(zhong)(zhong)结(jie)构。

泵(beng)的两个转子轴与水平面(mian)垂直安装。这(zhei)种结构(gou)(gou)装配(pei)(pei)间(jian)隙(xi)容(rong)易控制，转子装配(pei)(pei)方便，泵(beng)占地面(mian)积小。但泵(beng)重心较(jiao)高且(qie)齿轮拆装不(bu)便，润(run)滑机构(gou)(gou)也相对复杂。

（2） 泵的传(chuan)动方(fang)式(shi)

真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)(de)(de)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子是通过(guo)(guo)一(yi)(yi)对高(gao)精度齿(chi)(chi)轮(lun)来(lai)实现其(qi)相对同(tong)步(bu)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴通过(guo)(guo)联轴器与电机(ji)联接(jie)。在(zai)传动(dong)(dong)结构布置上(shang)主(zhu)(zhu)要有以下两(liang)种：其(qi)一(yi)(yi)是电动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)(chi)轮(lun)放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子的(de)(de)(de)(de)同(tong)一(yi)(yi)侧如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子由电动(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)(chi)轮(lun)直接(jie)传过(guo)(guo)去(qu)带动(dong)(dong)，这样主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子轴的(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之间(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙(xi)不会因主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴的(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大而改变(bian)，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子之间(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)(jian)隙(xi)在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)(guo)程中均匀。这种传动(dong)(dong)方(fang)式的(de)(de)(de)(de)最大缺点是：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴上(shang)有三个(ge)轴承，增(zeng)加(jia)了(le)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)加(jia)工和装配(pei)难(nan)度，齿(chi)(chi)轮(lun)的(de)(de)(de)(de)拆装及调整(zheng)(zheng)也(ye)不便；b.整(zheng)(zheng)体结构不匀称，泵(beng)的(de)(de)(de)(de)重心偏向电动(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)(chi)轮(lun)箱一(yi)(yi)侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)一(yi)(yi)个重要(yao)参数，是(shi)(shi)(shi)反应泵(beng)抽气(qi)(qi)(qi)能力的(de)(de)特性值，是(shi)(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)(de)一(yi)(yi)个数值，不同(tong)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可(ke)以有不同(tong)的(de)(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度(du)。而“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)理论研究时(shi)的(de)(de)一(yi)(yi)个概念，是(shi)(shi)(shi)排除(chu)各种实际(ji)因素的(de)(de)影响而提炼(lian)出的(de)(de)一(yi)(yi)种最理想的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态(tai)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器经充分抽气(qi)(qi)(qi)后(hou)(hou)，稳定在某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)称(cheng)为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器须经12小时(shi)炼(lian)气(qi)(qi)(qi)，再经12小时(shi)抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)(hou)一(yi)(yi)个小时(shi)每隔10分钟(zhong)测(ce)量(liang)一(yi)(yi)次，取(qu)其10次的(de)(de)平均值为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。